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      3. 項目合作

        華海清科項目

        發布時間:2021.06.02 作者: 來源: 訪問人數:1323

        華海清科是國內唯一一家能夠提供12寸CMP設備的高新技術企業,產品可廣泛應用于極大規模集成電路制造、晶圓平坦化、基片制造等領域。公司核心團隊由中國科學院院士雒建斌教授帶領,以清華大學摩擦學國家重點實驗室為技術依托,研發經驗豐富。公司目前擁有國內外授權專利147項,軟件著作權5項,生產的CMP設備廣泛應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾、長鑫存儲、上海積塔等先進集成電路制造商的大生產線中。

        我司參股的石溪產恒基金于2020年3月對華海清科投資3000萬元,2020年10月,華海清科申報科創板。


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